Још један је гас - фазни метод, метода таложења паре (ЦАВ), такође позната као метода пиролизе, сува метода или метода сагоревања. Његове сировине су углавном силицијум тетраклорид, кисеоник (или ваздух) и водоник, који реагују на високим температурама.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >Сио 2+4 ХЦл. Ваздух и водоник се односе на подвргавање притиском, одвајању, хлађењем и дехидрацији, сушењем силика гела, уклањањем прашине и филтрацијом пре него што се пошаљу у пећ синтетичке хидролизе. Након сировог материјала силиконског тетралорида шаље се на дестилациону колону за дестилацију, он се загрева и упари у испаривачу, а затим је послао на песку за синтетичку хидролизу са сувим и филтрираним ваздухом као носач. Силицијум тетраклорид је испарен на високим температурама (температура пламена 1000 - 1800 степени), а затим подвргава гас - фазу хидролизе са одређеном количином водоника и кисеоника (или ваздуха) на око 1800 степени. У овом тренутку, генерисане су силицијум честицама од гасних фаза изузетно су у реду и формирају аеросоле са гасовима, што је тешко заробити.
Због тога се први накупља у веће честице у агрегатору, а затим сакупљају одвајач циклона и послат на пећ за деацидирање. Гас - фазни силицијум се испере са азотом - који садржи ваздух док вредност пХ не буде 4 до 6, што је готов производ