Обично постоје два процеса лечења за отпадне гасове у силиконској индустрији
Рто регенеративно топлотно сагоревањеиМетода спреја + активирана адсорпција угљеника. Издувни уређај за прераду гаса укључује гас - течни сепаратор, дубоки кондензатор, кула за прање киселине, торањ за прање алкалија, суви филтер, пећ за сагоревање и димњак РТО-а и димњак издувног димњака.